احساس و کنترل الکترونیکی شتاب سنجmems

احساس و کنترل الکترونیکی شتاب سنجmems

 مقدمه: در طول بیست سال گذشته پیشرفت میکروتکنولوژی قادرساخته که سنسورهای کوچک و محرکهای آن بصورت یک پارچه دریک بسته بندی ایجاد شوند.این فناوری باعث ایجاد سیستم های میکروالکترونیک و مکانیکMEMS شده است.دراین گزارش دو مورد احساس و کنترل سیستم های MEMS مورد توجه قرار...