تحلیل و جبران سازی خطا در تداخل سنج سه مود بهبود یافته هتروداین

تحلیل و جبران سازی خطا در تداخل سنج سه مود بهبود یافته هتروداین

چکیده توسعه صنعت و فنآوری منجر به كاهش ابعاد قطعات مدارات مجتمع شده و حساسيت و دقت بيشتری را در سامانه های اندازه گيری  به همراه آورده است. نانومترولوژی يك ضرورت برای همه شاخه های نانوفنآوری به شمار می آيد. در واقع روشهای اندازهگيری معمولی در بسياری از موارد نمیتواند...